Mold for nanoimprinting, process for producing the same, and processes for producing molded resin having fine rugged structure on surface and for producing wire-grid polarizer

纳米压印用模具、其制造方法及表面具有微细凹凸结构的树脂成形体以及线栅型偏振器的制造方法

Abstract

本发明提供能以良好的精度转印微细凹凸结构、价格低廉且耐久性好的纳米压印用模具、其制造方法及以良好的精度转印有模具的微细凹凸结构的表面具有微细凹凸结构的树脂成形体以及能以良好的生产性制造线栅型偏振器的方法。本发明使用一种纳米压印用模具(10),该纳米压印用模具(10)的模具面具有由相互平行且以一定的间距形成的多条沟(14)构成的微细凹凸结构,其包括:树脂制的模胚(12),该模胚(12)是所述微细凹凸结构的胚,其表面具有微细凹凸结构;金属氧化物层(16),该金属氧化物层(16)被覆模胚(12)的具有微细凹凸结构的表面;脱模层(18),该脱模层(18)被覆金属氧化物层(16)的表面。

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